基恩士传感器LR-X系列助力锂电行业发展收藏
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2024-01-14
在高速发展的半导体行业中,基恩士参与到晶圆生产的各段工艺,性能优异深受信赖。本期内容分享,基恩士传感器在半导体行业中的经典基础检测应用。① OHT搬运FOUP时 安全防护检测
方案:GL-S系列优势:纤薄机身且自带安装支架,轻巧省空间。光轴对准简单,配备大型指示灯,安全状态实现一目了然!② 载物台 晶圆有无检测
方案:FS-N41N+FU-96T优势:高功率放大器可有效防止水滴引起的误检,配合氟树脂光纤外壳,有效防腐蚀。③ 晶圆涂布/显影 光阻剂滴量管理
方案:FD-X系列优势:外夹式安装不必切管,没有污染问题,便捷且安全。同时可显示0.001ml的累积流量,便于管控剂量。④ 扩散炉中晶圆突出检测
方案:GV-21+GV-H450优势:支持通过透明视窗检测,反射型易于安装。单侧开窗即可。⑤ AWC 晶圆定位检测
方案:FS-N41N+FU-79/LV-NH62 优势:高灵敏度放大器,响应速度快,配合0.5mm小芯径光纤,稳定进行晶圆定位检测如用激光型,LV系列φ1.5mm小光斑可达到1M检测距离同轴结构激光传感器,可解决安装位置狭小的困扰。
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