晶圆是制作IC最基础的半导体材料，晶圆的质量将直接决定IC成品的质量好坏由于工艺水平不同，晶圆可能会在生产阶段产生冗余物、晶体缺陷和机械损伤三种缺陷因此，高效准确的检测设备，是提供高可靠性晶圆材料的保证。...

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