工业自动化 第78页

气压传感器适用于检测大气压强的仪器,最初人们是通过用柱的高度求出相对真空的大气压的,随着技术发展和革新,如今高精度的气压传感器一般是利用MEMS技术在单晶硅片上加工出真空腔体和惠斯登电桥,惠斯登电桥桥臂两端的输出电压与施加的压力成正比,经过温度补偿和校准后具有体积小、精度高、响应快等特点。...

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