赛迪发布《2021年5G发展展望白皮书》
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2024-01-24
反射光与光源角度相同。明场:光线反射后进入照相机。暗场:光线反射后未进入照相机。
明场照明: 1.对形成高对比度有益,但反光表面会生成镜面反射; 2.光源范围应在照相机透镜视野的两倍处; 3.避免 “热点”: 漫射光源在明场提供均匀照明暗场照明: 1.漫射光被反射进入照相机但镜面反射光线被反射离开;。
2.光源在“W”之外 ; 3.除有纹理的表面和凸高变化的表面之外,光线被反射而不进入照相机明场像与暗场像都有什么区别呢一个是透射束成像,一个是衍射束成像透射电镜图像分为试样的显微像和衍射花样,这两种像分别为不同电子成像,前者是透射电子成像,后者为散射电子成像。
透射电镜中,不仅可以选择特定的像区进行电子衍射(选区电子衍射),还可以选择成像电子束(选择衍射成像) 明场像(BF):选用直射电子形成的像(透射束),像清晰 暗场像(DF):选用散射电子形成的像(衍射束),像有畸变、分辨率低。
成像电子的选择是通过在物镜的背焦面上插入物镜光阑来实现的中心暗场像(CDF):入射电子束对试样倾斜照明,得到的暗场像像不畸变、分辨率高 暗场成像条件下,成像电子束偏离透射电镜的光轴,造成较大的像差,成像质量差,为获得高质量暗场像,采取中心暗场成像。
即入射电子束反向倾斜一个相应的散射角度,使散射电子沿光轴传播所谓明场,暗场成像只是对低倍观察时说的 一般来说,观察形貌我们都比较喜欢用明场像,因为成像衬度好(尤其是加了合适的光阑),形变小其主要表现为厚度衬度,对厚度敏感。
而观察缺陷如位错,孪晶的时候喜欢用暗场像,因为暗场像是来自于选定的某个衍射束,对应于晶体特定的晶面在缺陷地方,电子衍射的方向和完整的地方不一样,从而使得缺陷地方能够在暗场像上清楚的显示出来而明场像因为是多个衍射束的成像,对缺陷不敏感,虽然有时候也能反应出缺陷,但是及其模糊。
其主要表现为衍射衬度也就是对衍射面敏感 比如说一个孪晶材料,对于明场,孪晶界面很淡,但是选择合适的衍射点做暗场像可以很清楚的看见孪晶界面而且选择其中一个晶体特有的衍射点,做暗场可以发现只有这一个晶体出现在图像上,而另外一个晶体看不见。
对于暗场一个重要的用途是观察层错,比如说立方晶系里面的111方向的层错用明场像无法看出来因为有缺陷和无缺陷的地方厚度一样但是暗场像在特定的方向观察时,可以观察到三角形或者蝴蝶状甚至金字塔装的衬度明暗条纹。
这个时候用到的一个TEM技术叫做双束 其实不论明场还是暗场,他们都服务于被测物,取决于客户对被测物检测的需求,它们都各有优势,更重要的是,我们如何利用它们的优势更好的服务于整体的检测系统 总的来说,没有哪个光源是更好的,只有哪个光源是更适合的。
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