东正光学5倍 16K高精度线扫镜头收藏

   东正光学PLS16500APO-C镜头是针对半导体、晶圆、TFT-lcd对分辨率要求极高的检验领域而新推出的高倍率、高分辨率线扫镜头。

图1 PLS16500APO-C    搭配16K 5u相机，物方精度高达1u，拥有300lp/mm超高解像力配备同轴棱镜，方便接入线阵光源，实现同轴打光效果；    整个镜头视野中心和边缘成像表现高度一致，相对照度（亮度均匀性）全视场超过99.9%，最大畸变<0.007%保证在半导体领域精细图案测量；<>。

   采用超低色散玻璃材料和复消色差（APO）技术，实现近乎零色差，适用于对色彩还原要求极高的检测应用；    最大支持靶面φ90mm，保证了在高精度检测的同时实现更大视野检测，配合16k 5u相机，检测视野高达16.4mm，使用在设备当中可有效减少相机数量，节省硬件成本，实现高效检验；

   采用全欧(TRIOPTICS) ImageMaster® HR 传函仪测试数据如下 ，同时也对比了国外某知名品牌，结果表明东正光学PLS16500-C镜头中心至边缘成像一致性和色差明显较好。

PLS16500APO-C MTF(S方向)

PLS16500APO-C MTF(T方向)

竞品 MTF(S方向)

竞品 MTF(S方向)图2 MTF实测对比PLS-16500APO-C 色差大小竞品色差大小

图3 色差实测大小对比    客户检测8.5代tft-lcd实拍对比，同样达到F2光圈

PLS16500APO-C实拍

竞品实拍图4 tft-lcd客户现场实拍对比    为了满足不同检测精度需要，东正光学推出了4.375倍和6.2倍（业内首款，分辨率<1u），且每款倍率都有带同轴棱镜和不带同轴棱镜两种类型目前正在开发更大通光量升级版本，搭配频闪光源，实现同时多种打光效果，完美契合半导体wafer缺陷检测需求。

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