视觉赋能单晶硅产业智能化发展收藏

网友投稿 320 2024-01-20


早期的直拉式单晶硅生产完全依赖人工观察和操作,随着计算机和自动化设备的普及,单晶硅生产过程的自动化程度逐步提高,目前行业主流解决方案是:工业相机获取图像信号,之后经计算机视觉算法处理获得关键生产数据反馈至控制系统。

视觉赋能单晶硅产业智能化发展收藏

Basler重要合作伙伴:北京图知天下科技有限责任公司作为业内知名的工业智能化技术解决方案供应商,多年来针对单晶硅生产过程进行研究和开发,旨在提高单晶硅生产过程的自动化程度,同时借助先进的智能算法大幅提高了各个视觉测量环节的精确度。

其产品:单晶炉智能视觉控制器不但帮助单晶硅制造企业降低了的生产成本,单晶硅的产品质量和生产效率也获得了显著的提升检测内容:通过对晶体生长过程的分析,将晶体生长过程分为引晶、引晶过度、等径生长等阶段,基于视觉检测,采集不同阶段的单晶生长图像,同时利用设计的图像处理算法检测单晶直径,通过算法对单晶生长装置的温度、速度等进行控制,从而维持单晶生长环境的稳定得到直径均匀的单晶,通过对晶体表面棱线的检测,对晶体生长过程是否发生晶变,及时报警。

检测难点:检测系统要适应不同尺寸炉台,不同场景下图像变换很大,对算法的泛化能力和稳定性要求很高一些晶体的关键信息需要对图像细节进行分析,这也对工业相机的成像质量提出了较高的要求解决方案·直径检测:对晶体直径的变化进行监测,通过对晶体光圈外部关键点监测计算晶体直径。

·液口距检测:通过单目测距方式实现导流筒至液面距离的测量

·断线检测:通过对棱线和光圈交界点的检测对当前晶棒是否断线进行判断

方案优势采用Basler 1200万高分辨率相机实现了对晶体生长过程中高精度的直径检测,确保晶体表面更加平滑同时实现了高准确率的断线检测报警,断线自动报警,减少无用损耗,提高生产效率使用单台相机的差异化解决方案(即1台1200万像素相机替换两个500万像素相机)实现了液口距实际值测量,准确测量炉内液口距,保证各炉台之间的一致性,便于相关参数设计,增加了系统的稳定性。

该解决方案在工位设计上更加紧凑,节省了客户的安装空间,并有效降低系统的复杂度及成本

北京图知天下科技有限责任公司技术总监提到:“单晶硅生长过程需要实时监控和检测,确保得到直径均匀的单晶,这就要求视觉检测系统必须在整个过程保持高精度和高稳定性经过多次评估测试,Basler120O万像素相机可以长时间稳定采集、传输图像,并满足高精度检测要求,同时Basler为我们提供了差异化解决方案,并对于相机及相应的配件进行多次兼容性测试,保证了整体视觉方案的稳定性,有效降低了研发成本,使我们的产品拥有更高的市场竞争力和知名度。

稳定可靠的产品性能和创新解决方案是我们最终选择与Basler合作的重要原因”

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