高光谱成像技术在薄膜厚度检测中的应用收藏

研究背景在薄膜和涂层行业中，厚度是非常重要的质量参数，厚度和均匀性指标严重影响着薄膜的性能目前，薄膜厚度检测常用的是X射线技术和光谱学技术，在线应用时，通常是将单点式光谱仪安装在横向扫描平台上，得到的是一个“之”字形的检测轨迹（如下图左），因此只能检测薄膜部分区域的厚度。

SPECIM FX系列行扫描（推扫式成像）高光谱相机可以克服上述缺点在每条线扫描数据中，光谱数据能覆盖薄膜的整个宽度（如下图右），并且有很高的空间分辨率

实验过程为了验证高光谱成像技术在膜厚度测量上的应用，芬兰Specim 公司使用高光谱相机SPECIM FX17（935nm-1700nm)）测量了4 种薄膜样品的厚度，薄膜样品的标称厚度为17μm，20μm，20μm和23μm. 使用镜面几何的方法，并仔细检查干涉图形，根据相长干涉之间的光谱位置及距离，可以推导出薄膜的厚度值。

通过镜面反射的方式测量得到的光谱干涉图，可以转化为厚度图

使用 Matlab 将光谱干涉图转换为厚度热图，通过SPECIM FX17相机采集的光谱数据，计算的平均厚度为18.4μm、20.05μm、21.7μm 和 23.9μm，标准偏差分别为0.12μm、0.076μm、0.34μm 和0.183μm。

当测量薄膜时，没有拉伸薄膜，因此测量值略高于标称值此外，在过程中同时检测到了薄膜上的缺陷，如下图所示，两个缺陷可能是外部压力造成的压痕

结论SPECIM FX17高光谱相机每秒可采集多达数千条线图像，同时可以对薄膜进行100%全覆盖在线检测，显著提高了台式检测系统的检测速度，提高质量的一致性并减少浪费与单点式光谱仪相比，高光谱成像将显著提高薄膜效率和涂层质量控制系统，同时也无X射线辐射风险。

理论上，SPECIM FX10可以测量1.5μm到30μm的厚度，而SPECIM FX17则适用于4μm 到90μm的厚度。

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