精密检测的新趋势， SWIR相机的各种应用方法收藏

概括短波红外 (SWIR: Short Wave Infrared) 是一种比可见光波长更长的光这些光不能通过 “肉眼”看到，也不能用“普通相机”检测到由于被检测物体的材料特性，一些在可见光下无法看到的特性，却能在近红外光下呈现出来，因此，可以通过短波红外相机对物体特征进行检测。

 目前在SWIR相机广泛应用于工业、航空航天、生物、医疗、户外监控、化妆品等众多领域，其中半导体检测和食品检测是两大主要应用市场，分布占据40%和30%的市场份额。

图1：SWIR相机的应用1.AVAL DATA的SWIR相机AVAL DATA提供各种SWIR相机，最近开发的搭载索尼IMX990传感器的ABA-013VIR，是市场上分辨率最高的一款SWIR相机，其拥有400~1700nm (VIS-SWIR)的宽波段覆盖范围，传感器的响应度平均超过80%。

另有搭载Sony IMX991传感器的VGA像素相机

图2：ABA-013VIR相机的量子效率。此外，AVAL DATA还提供其他SWIR面阵和线阵相机、中红外（MIR）和远红外（WIR）系列产品，如图3所示。  

图3：AVAL DATA提供的各种红外相机系列2.SWIR相机的应用SWIR相机可用于很多领域，按照检测目的，可用于如下例子所示的各种应用①分辨同色材料粉末分辨相同颜色的调味料、盐、糖混合时，我们很难用肉眼区分出每种物质。

但是，由于每种材料吸收光的特性不同，使用SWIR相机拍摄，它们的图像会显示不同的颜色，如图4所示。

图4：三种物质（调味料、盐、糖）在可见光和三种短波红外光下拍摄的图像对比液体分辨通过SWIR相机来区分颜色相同的水和油时，水对短波红外光的吸收要比油更高，因此在SWIR成像中，水的颜色更深（黑），而油的颜色更浅（明亮）。

这是使用SWIR相机分辨同色液体的方法

图5：水和油在可见光和短波红外光下的成像对比塑料分类使用一般的RGB相机成像，很难区分为各种类型的白色塑料物质然而使用SWIR相机成像时，由于每种物质对光的吸收不同，因此它们会呈现出不同的颜色 例如，在图6所示的几种物质中，将尼龙（Nylon）分辨出来。

由于尼龙在1200~1700nm波段对光的吸收率最高，因此尼龙在该波段的成像会非常暗，这样就能很容易地将其与其他物质区分开来 

图6：PVC/PS/Nylon/PC/PP/ABS在可见光和短波红外光下的成像对比②通过水分测量检查食品缺陷使用SWIR相机测量食品中的水分含量，可以实现食品缺陷的检测如图7所示，使用1450nm成像进行检测，潮湿的面包呈现的颜色比较深，而干燥的面包呈现的颜色比较浅。

通过这种方法，我们可以预测一些食品中的水分含量，以及其是否为不良产品 

图7：标准面包（左）和干燥面包（右）在可见光和短波红外光下的成像对比。图8的例子显示了使用SWIR相机成像，检测水果表面的瘀伤缺陷。在短波红外成像中，瘀伤部分会呈现出较暗的颜色。

图8：表面有瘀伤的橘子在可见光和短波红外光下的成像对比③材料渗透晶圆测试SWIR相机可用于检测晶圆内部缺陷和Alignment key的位置晶圆缺陷和Alignment Key的尺寸大小为微米级（μm）和纳米级（nm），因此晶圆检测中使用的镜头必须为显微镜。

图8：晶圆在可见光和短波红外光下的成像对比包装内部缺陷检测使用SWIR相机，可以透过包装检测内部物品的缺陷、物品位置以及异物等但是，包装材料必须是短波红外光能够穿透的物质，见图9、图10短波红外光不能穿透铝制包装，但是能穿透一些塑料包装；具体能否穿透，需要测试后确认。

图9.使用短波红外成像检测包装盒内部。

图10：使用短波红外成像检测瓶子内的化妆品含量3.与SWIR相机配套使用的产品将SWIR相机与其他产品一起使用时，可以设置最佳使用环境，这样可以提高检测精准率  ①红外偏光胶片的应用如果使用背光照明，很容易显得成像目标的背景太亮，并且不知道目标是否在透射照明光；但如果使用红外偏光片，可以消除背光，目标的成像精度会有所提高。

偏光片能抑制包装的反射光，通过阻挡散射光和反射光，可以获取清晰的图像来检测包装内部的物品

图11 在使用偏光片和不使用偏光片的情况下，对包装内的食品进行成像的对比。②截止滤波器的应用

Sony IMX990传感器可响应VIS-SWIR波段，因此，如果只需要在近红外波段成像，可以使用可见光截止滤波器 (cut filter)如果只想在特定波长范围内进行检测，可以使用过滤器（pass filter）来提高检测准确性。

③光源

根据想要成像的波长范围选择光源SWIR相机使用最多的光源是LED和卤素灯LED光源的优点是发热低、耗电低、与卤素灯相比寿命长因此，一般长期使用的FA领域，LED是首选光源但是，LED光源与卤素灯相比光量不足，并且一个LED光源很难检测宽波长范围，增加光源量自然会增加成本。

 卤素灯的缺点在于寿命短、发热量高卤素灯与LED光源相比，光量高，波长宽因此卤素灯通常适用于广泛的波长分析检测④镜头了解需要检测的波长范围，并选择能够覆盖该波长范围的镜头也很重要一般在野外拍摄时，需要覆盖VIS-SWIR的镜头。

虽然晚上不需要自然光，但白天需要自然光，因此野外拍摄需要能覆盖可见光波段的镜头如果只需要SWIR成像检测，则需要使用SWIR专用镜头AVAL DATA的ABA-013VIR支持C-mount接口的镜头，传感器大小为1/2英寸，因此必须使用支持1/2英寸以上的C-mount镜头。

附录：适用于塑料分类检测的高光谱相机根据上述内容(2.iii 废塑料分类)显示，SWIR相机能用于废塑料的分类但是由于SWIR相机的感光范围仅为900~1700nm，因此很难分辨出多种不同的塑料材料另外，如果需要在特定波段成像，则需要特定波段的滤光器或光源。

但是，如果使用高光谱相机（AHS-003VIR)，则可以在450~1700nm波段中一次拍摄，以18.8nm的分光分辨率同时获得以下各物质的512个频带的图像，并确认分光信息，如图14所示。

图14：使用高光谱相机拍摄的图像在图15中，Nylon从1700nm开始与其他物质光谱特点相似，因此很难区分但通过高光谱相机(AHS-003VIR)拍摄，能看到1380~1600nm波段的成像与其他塑料不同。

15图：PVC/PS/Nylon/PC/PP/ABS的红外成像图。AHS-003VIR主要特征:

● 感光波段： 450~1700nm● 分辨率：640（空间） x 512（光谱）● Push broom 拍摄方式● 光谱波段: 512bands _● 光谱分辨率： 18.8nm● 最大帧率：240.6fps（CameraLink接口）

结论

图16：不适合用短波红外成像检测的物质到目前为止，我们已经研究了几个适合用SWIR相机检测的案例然而，并非所有检测都适合使用SWIR相机，如图16所示，铝、纸、液体中的含量确认、气泡检测等，都无法用SWIR相机实现。

并不是所有材料都对红外波段有响应，因此提前了解被检测材料类型以及它对哪个波长有响应，是使用红外检测的前提之一即使理论上有些材料对红外波段有感应，也许会由于这是混合物或受到外部环境的原因，可能无法使用SWIR相机进行测试，因此现场测试很重要。

 AVAL DATA支持产品测试，能提供多种IR相机和高光谱相机，以及镜头、光源等能够满足客户需求的一整套打包方案。

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