普雷茨特使用点传感器测厚时的精度和重复性的优异表现收藏

夹胶玻璃以其附着力强、高透明度等特点，在建筑、汽车、航天、军事和高新技术工业中得以广泛的应用而为实现其既定功能，需要确保夹胶层的有关参数和外形符合标准工艺要求，此时对量产过程中的测量传感器的精度和重复性均提出了极高要求。

本次我们将以玻璃夹胶层厚度的测量过程，展现普雷茨特白光干涉系列传感器在测厚时的精度和重复性表现普遍的认知为：重复性越好．误差也越小，因此测量结果也更加精准，而普雷茨特的点传感器不仅在精度上可达到纳米级别，在高采样频率下也可实现纳米级的重复性精度。

测量实物本次测试的硅片样品如下图所示：

本次样品有米色（上图命名 beige）和透明色（上图命名 clear）两种，在自然光下也可以看到，米色颜色略深一些下图为样品结构示意图：样品为多层结构，中间层即为胶水层，标准工艺要求其厚度在 10-20 μm 之间。

测量步骤

传感器: CHR 2S HS；测量原理：白光干涉扫描结果下图为实际使用情景：

1）针对样品 beige，在样品上任意取 9 个点，查看在 10 kHz 采样频率下的测量结果。测的数据如下图所示：

从上述表格可以看出其测量厚度在精确至纳米的同时，依旧能保持静态数据重复性保持在 ±0.001 um 范围之内，是非常理想的测量结果2）针对样品 clear，在 1 kHz 采样频率下，实测数据如下，依旧能保持纳米级别的精度和静态重复性。

4CHR 2S 系列传感器作为 CHRocodile 传感器系列中成功的产品，CHRocodile 第二代传感器经改进后更加适合如今的工业应用需求新的高性能电子器件结合高速以太网接口，高强度白光 LED 和高灵敏度的探测器，使传感器可实现高达 66,000 次每秒的测量速度和高测量精度；新一代传感器配置了自动光源控制装置，可实现非接触式距离，形貌和厚度的测试，甚至对于复杂的几何形状和拥有不同反射率，粗糙度和折射率的材料的测量任务都可胜任。

测量具有极高的精度和复现性，甚至在测试环境波动的情况下都相当稳定；CHRocodile 2 传感器可在光谱共焦和干涉模式下轻松切换，以此来实现诸如透明塑料和多层膜的更多的测量的可能性

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