缺陷识别 第9页

前言光学相干层析成像技术(OCT)在上世纪90年代即被开发用于生物学的无创断层扫描成像OCT使用低相干干涉术,以类似于超声脉冲回波成像的方式,从内部组织微结构的光学散射信号生成截面二维图像OCT具有微米级的纵向和横向空间分辨率,可以检测到小至入射光功率~10^-10的反射信号。...

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